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美國INFICON 標定用漏孔

漏孔是在真空技術中,在壓力或濃度差作用下,使氣體從壁的一側通到另一側的孔洞、孔隙滲透的元件。
 
中文名稱:漏孔英文名稱:leak 相關概念:漏孔、漏率及其單位 真空技術中所指的漏孔,由于尺寸微小、形狀復雜、形式多樣,無法用幾何尺寸表示其大小。所以一般用等效流導或漏氣速率(簡稱為漏率)表示漏孔的大小。 用漏率表示漏孔大小時,如果不加特殊說明,則是指在漏孔入口壓力為1.01× 105Pa,出口壓力低于 1.33× 103Pa,溫度為 296 士 3K 的標準條件下,單位時間內(nèi)流過漏孔的露點溫度低于 248K 的空氣的氣體量。 漏率的單位是帕斯卡×立方米/秒,記為 Pa.m3/s。為了方便,有時用帕斯卡.升/秒,記為Pa.L/s。漏孔的氣流特性 氣體流經(jīng)漏孔的過程是很復雜的,可能包含有粘滯流、過渡流及分子流三種流動狀態(tài)。主導流動狀態(tài)與漏孔的幾何尺寸、氣體的種類、漏孔兩端的壓力及環(huán)境溫度有關。標準漏孔 標準漏孔是在一定條件下向真空系統(tǒng)內(nèi)部提供已知氣體流量的元件。一般要明確這個氣流量(即漏率)的氣體種類、溫度、壓力等條件。如果不特別指明,則指溫度為 296± 3K、入口壓力為 1.01× 105Pa、出口壓力低于 1.33× 103Pa 的干燥空氣(其露點溫度低于 248K)的漏率。


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